Measurement of charging under DUV laser by a test chip for moems and the mechanism of charging

L. Trabzon*, K. Lukat, I. Jankowski, P. Duerr, H. Schenk

*Bu çalışma için yazışmadan sorumlu yazar

Araştırma sonucu: Kitap/Rapor/Konferans Bildirisinde BölümKonferans katkısıbilirkişi

1 Atıf (Scopus)

Parmak izi

Measurement of charging under DUV laser by a test chip for moems and the mechanism of charging' araştırma başlıklarına git. Birlikte benzersiz bir parmak izi oluştururlar.

Keyphrases

Engineering

Physics