| Date of Award | 2022 |
|---|---|
| Original language | English |
| Supervisor | Ayşegül Meriçboyu (Supervisor) |
Kuru aşındırma yöntemiyle titanyum silisite seçici kontak aşındırma prosesinin optimizasyonu
Optimization of selective titanium silicide contact hole etching process via y etching method
Student thesis: Master's thesis